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                  上海蒲柘光电仪器有限公司

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                  公司网站

                  蒲柘主站www.suttermill.com

                  生命科学www.suttermill.com.cn

                  材料科学www.pzgdsh.com

                  联系方式

                  上海公司(总部)
                  电话:021-31229638 31229639
                  传真:021-31229639
                  邮箱:shpzgd@163.com
                  Q  Q:1662367219
                  地址:上海市松江区泗泾镇九干路
                   168号2幢B338

                  北京分公司
                  全天:13601278945
                  地址:北京市朝阳区媒体村天畅园
                     6号楼3003室

                  天津分公司
                  全天:18920418771
                     13601155230
                  邮箱:2522294046@qq.com
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                  等离子清洗机

                  • 产品名称:等离子去胶机P-MD
                  • 产品型号:P-MD
                  • 产品规格:直径210mm*230mm
                  • 产品咨询:
                  • 上      海:021-31229638
                  • 北      京:13601155230
                  • 天      津:18920418771
                  • 生命科学网:www.suttermill.com.cn
                  • 材料科学网:www.pzgdsh.com
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                  去胶工艺是微加工过程中一个重要的过程,在电子束曝光,紫外曝光等微纳米加工工艺后,都要对光刻胶进行去除或打底膜处理。光刻胶是否去除干净对样片是否有损伤等问题,将直接影响后续工艺的顺利完成。P-MD使用性能出色的组件和软件,可对工艺参数进行精确控制。它的工艺监测和数据采集软件可实现严格的质量控制。该技术已经成功的应用于功率晶体管、模拟器件、传感器、光学器件、光电、EMS/MOEMS、生物器件、LED等领域。

                  P-MD参数(标准配置)

                  外部尺寸

                  641*533*451mm

                   

                  真空腔尺寸

                  直径210mm*230mm

                  不锈钢腔体

                  电极尺寸

                  125*125mm  间距20-75mm可调

                  二个多控自适应平板电极

                  等离子体发生器

                  RF射频发生器,频率:13.56MHz

                  自适应阻抗匹配电源

                  功率

                  0-200W连续可调

                  精度1W

                  工艺气体要求

                  1/4英寸卡套接口/15-30psig

                   

                  工艺气体种类

                  CF4=99.97%; O2=99.996%;N2=99.99%

                  AR=99.999%  其它气体咨询

                  气体控制

                  2路针式气体流量阀

                  0-300ml

                  控制方式

                  4.3寸触摸屏

                  界面显示实时工作状态

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                  一键急停?;ぐ磁?span lang="EN-US">

                   

                   
                   
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